
图源:中微公司官网
【1】
2004年,一位60岁的老人从美国硅谷飞抵上海浦东。
这位老人,正是毕业于中国科学技术大学,被誉为“中国芯片刻蚀机之父”的尹志尧。
此刻,他正把人生刻度重置到了中国芯的起跑线。

企业家之夜,尹志尧博士领奖(图片来源:微博@中微公司官微)
对很多人来说,“刻蚀机”是一个陌生的词汇。
但在高科技领域,它是半导体制造中不可或缺的核心设备之一,更是我国制造“中国芯”的基石。

正是在尹志尧及其团队的努力下,中国才得以自主生产出刻蚀机,并迫使美国取消了对我国刻蚀机出口的禁令。
如今,中微公司的刻蚀设备,在实验室达到0.02纳米的精准度,而国外刻蚀机巨头目前量产能力尚在5纳米到3纳米阶段。

中微研发的刻蚀设备(图片来源:中微官网)
1944年,祖籍安徽的尹志尧,出生于北京一个知识分子家庭,尹志尧接受了良好的教育。
1978年,尹志尧从中科大考入北京大学化学系读硕士。
1980年,36岁的尹志尧赴美留学。

留美期间的尹志尧
4年后,他以优异的成绩,拿到美国加利福尼亚大学洛杉矶分校的物理化学博士学位。
毕业后的尹志尧,进入美国硅谷半导体巨头英特尔公司,开启了他传奇般的科技人生。
工作2年后,他跳槽到华人林杰屏创建的泛林集团(LAM)。

泛林集团(LAM)
在泛林的5年里,尹志尧从研发部资深工程师做到了资深经理,还开发出了彩虹号等离子体刻蚀机。
在硅谷,各大半导体公司争相拉拢尹志尧。

1991年,尹志尧接受了美国应用材料(AMAT)公司的邀请,担任总部首席技术官。
在半导体行业深耕20年,尹志尧一共拥有280多项多国专利,行业有一半企业都用过他参与研发的设备。
基于他的成就和对AMAT的贡献,尹志尧被任命为公司副总裁。
在国内民众月收入仅有千元左右的时代,尹志尧就已年薪百万,堪称硅谷传奇。
【2】
2004年,即将60岁的尹志尧面临退休。
这一年,在一次国际半导体设备展览会上,尹志尧邂逅了上海经委副主任江上舟。
江上舟是尹志尧在北京四中的校友,毕业于清华无线电专业的他,很早就意识到集成电路领域发展的重要性。

江上舟
当时,我国的芯片来源主要靠进口,以美国为首的西方国家,动不动就把芯片纳入管制范畴。
江上舟深知,要破局,最好的办法就是实现自主生产芯片。
于是,江上舟向尹志尧发出邀请:
“我们一起干,我已经是癌症晚期,哪怕豁出这条命,也要造出中国自己的刻蚀机,这样就再也不怕外国人卡我们的脖子了。”

图片来源:中国财经报道
在美国生活多年的尹志尧,心里很清楚,只有中国才是他的根,是时候回国效力了。
尽管没有任何创业经验,可60岁的尹志尧,带领15人的团队飞抵上海,在浦东创办了中微半导体设备公司。

创业初期的尹志尧
当时,我国的集成电路刚刚起步,资金、人才、设备方面都存在较大缺口,加上刻蚀机研制生产的复杂程度,不亚于两弹一星,这就使得尹志尧的创业之路异常艰辛。
可任何困难,都阻碍不了他为祖国研制刻蚀机的激情和决心。
2007年,中微公司第一台CCP刻蚀机交付成功,这可是中国自己制造的大国重器啊!

中微公司自主可控的刻蚀机
这也标志着我国“中国芯”的进程,取得了巨大突破。

图片来源:《逐风者》
随着科技的发展,芯片的体积越来越小,精度也越来越高,加工步骤也越来越多,刻蚀机的作用也就越来越大。
【3】
随后数年,尹志尧带着他的团队攻克了一个个难关,刻蚀机从14纳米到7纳米,再到5纳米,缔造了一个个中国传奇。
然而,这份亮眼的成绩单,却让尹志尧的几个前东家不淡定了。
2007年10月,老东家AMAT向美国法院提请诉讼,状告尹志尧和中微公司商业秘密侵权。

美国应用材料公司(AMAT)
理由是,中微公司的核心技术人员,都曾在硅谷的相关公司服务过。
这场官司打了两年半,美国律师在彻查了中微公司内部600多万份文件后,证实中微公司的刻蚀机技术全部是自发研制。

尹志尧在中微半导体设备有限公司前台
而在中微公司与AMAT的官司还未了结前,前前东家泛林也向台湾法院起诉中微公司侵权。
当起诉被驳回后,中微公司以侵犯商业机密为由,向泛林提起了反诉讼。
法院不仅判决侵权成立,还勒令泛林销毁与中微公司刻蚀机技术相关的所有文件和照片。
然而,中微公司在半导体行业的崛起,惊动了美国商务部和国防部。
2015年,美国商务部识时务地撤销了对中国出口等离子刻蚀机的禁令。
可美国国防部却两次无理由地,将中微公司列入军事企业清单。
中微公司据理力争,并于2024年8月状告美国国防部。

中微公司起诉美国商务部(图片来源:中微公司官微)
最终,2024年12月,他们将中微公司移除了清单,并撤销了对我国低端芯片的制裁。
至此,在中美这场旷日持久的芯片大战中,中国大获全胜。
中微公司经过短短20年的时间,就成为全球顶尖的半导体设备供应商,被誉为“华人半导体之光”。

中微公司临港总部(图源:中微公司官微)

图源:《逐风者》
从硅谷精英到民族工业脊梁,从花甲之年归国创业,到带领中微公司打破国际垄断,尹志尧的故事不仅是中国芯片崛起的缩影,更是一曲永不言败的科技战歌。
来源:安徽省人民政府驻上海办事处、最华人