合肥新桥机场，每天进出港客流两旺，机场所在的新桥科创示范区，科创气质日益鲜明。在这里，半导体上下游企业云集，集成电路产业生态初具规模。
一家半导体先进装备研发制造及工艺集成系统解决方案供应商将合肥总部生产基地落户于此。今年3月下旬，该公司刚刚宣布，其首批12英寸先进工艺SDS高端装备正式投产发货，引发业内广泛关注。
8月16日上午，合肥孚烜自动化科技有限公司（下称“孚烜科技”）合肥总部生产基地正式投产。孚烜科技目前拥有一个研发中心和三大制造基地，其中，研发中心位于合肥，此前分别在肥西和凤台设立生产基地，合肥总部生产基地则位于合肥经开区北区集成电路产业园区，占地面积21亩、建筑面积2万平方米，总投资约3亿元。公开资料显示，毅达资本、国芯创投、兴泰创投、合肥创新投资、国耀资本等都是其A轮股权融资投资方。
2016年，孚烜科技成立于上海。是一家专业从事半导体、高纯化学、光伏行业等电子级化学品自动输送系统（CDS）、CMP研磨液输送系统（SDS）、回收再生混配系统（SRS）、电子级化学品混配、纯化、灌装、输送系统（Chemicals System）和湿法清洗设备（Wet Bench）等研发、生产、销售及服务为一体的科创技术企业，致力于为湿化学材料生产客户提供高纯化学品提纯、过滤、输送、分装等系统解决方案。
目前，孚烜科技产品应用涵盖半导体、太阳能、液晶面板、光纤、高纯化学品材料等生产领域，长期合作的国内外客户包括华润微电子、奕斯伟、合晶硅材料、隆基绿能、晶科光伏、中环能源、伊特纳能源、安集科技、上海新阳、SDP超视界显示等企业。
2021年，孚烜科技在合肥肥西县建立制造基地（合肥博朗特半导体设备）；2023年，在淮南凤台投资生产基地（凤台孚瑞自动化科技）；2023年10月，孚烜科技将总部从上海迁入合肥经开区集成电路产业园。
2024年11月27日，根据安徽省工业和信息化厅公布的2024年第三批安徽省首台套重大技术装备拟评定名单，孚烜科技的“掩模版清洗机FX-Mask Clean 01”被评定为国内先进。
今年以来，国内半导体设备领域喜讯连连，众多企业在12英寸设备的研发与量产上迈出了坚实步伐。2025年3月24日，孚烜科技迎来历史性时刻——首批12 英寸先进工艺SDS高端装备正式投产发货。此番交付的SDS高端装备为孚烜科技完全自主研发，专为先进制程设计，具备高自动化、高稳定性、高精度、质量保证、低维护成本等优势，专为半导体、光伏等领域定制解决方案，对于加速中国半导体产业自主化进程有着积极意义。
孚烜科技董事长、合肥市太湖商会副会长赵国飞表示：合肥新建总部的投产是企业发展的重要契机。“中国集成电路产业要实现从跟随走向引领的跨越，装备产业将是非常重要的环节。孚烜科技将通过持续的技术研发和系统优化的设计，以突破行业短板为使命，牢牢把握市场机遇，将公司打造为半导体装备的知名品牌，为国产装备的发展作出积极贡献。”
文/宣岚
